裝置現(xiàn)有產(chǎn)能6000噸/年，采用國際先進技術(shù)和先進裝備建成，目前產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定保持在G5等級。
產(chǎn)品介紹
裝置現(xiàn)有產(chǎn)能6000噸/年，采用國際先進技術(shù)和先進裝備建成，目前產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定保持在G5等級，行業(yè)領(lǐng)先，廣泛應(yīng)用于存儲類、邏輯類和車載功率半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，我們的產(chǎn)品成功實現(xiàn)了國外同類產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代，打破了高品質(zhì)電子化學(xué)品長期以來一直被國外壟斷的局面。
電子級氫氟酸是微電子行業(yè)的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，是濕電子化學(xué)品中的一種，由于電子級氫氟酸的純度和潔凈度對集成電路的成品率、性能及可靠性都有著十分重要的影響，生產(chǎn)工藝技術(shù)要求很高，目前主要依靠進口產(chǎn)品滿足國內(nèi)市場需求。在濕電子化學(xué)品領(lǐng)域，目前國際上公認(rèn)的濕電子化學(xué)品質(zhì)含量標(biāo)準(zhǔn)是SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)，共分為五個等級，其中G5為最高等級。我國電子級氫氟酸生產(chǎn)廠家產(chǎn)品等級普遍較低，能夠達到半導(dǎo)體所用G4級及以上的企業(yè)包括我公司在內(nèi)僅三家左右，其余兩家為多氟多、中巨芯（原巨化股份），高端電子級氫氟酸國產(chǎn)化率低。
主要用途
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程中的清洗和蝕刻等工序；在新型顯示領(lǐng)域，主要用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕刻等；在光伏太陽能電池領(lǐng)域，主要用于硅片表面清洗、蝕刻去邊、清洗制絨等環(huán)節(jié)。
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